화학공학experiment(실험) - 진공 상에서의 물질의 증착
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작성일 22-09-24 17:22
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나노기술과 같은 분자 또는 원자 수준을 다룰때 자주 쓰이는 단위이다.
② heating boat를 2개 준비하여 각각의 질량을 측정(測定) 한다.
진공증착 實驗에서는 시료가 증착되는 속도를 나타내며, 초당 아주 미세한 속도로 증착됨을 알 수 있다아 deposition tickness monitor device를 이용해서 증착속도를 측정(測定) 할 수 있다아
③ 시료: alum...
화학工學(공학) 實驗 - 진공 상에서의 물질의 증착
Ⅰ 實驗목표(goal)
진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 變化(변화)하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다. OLED 제작에 쓰이는 형광물질이다.
④ 기판에 증착 유리판을 고정 시킨 후 기판을 고정 하고 chamber를 밀폐 한다.
③ 메인 스위치를 켜고 로터리 펌프를 켠다.
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화학공학experiment(실험) - 진공 상에서의 물질의 증착
설명
화학工學(공학) 實驗 - 진공 상에서의 물질의 증착
Ⅰ 實驗목표(goal)
진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 變化(변화)하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다. 나노기술과 같은 분자 또는 원자 수준을 다룰때 자주 쓰이는 단위이다.
진공증착 實驗에서는 시료가 증착되는 속도를 나타내며, 초당 아주 미세한 속도로 증착됨을 알 수 있다아 deposition tickness monitor device를 이용해서 증착속도를 측정(測定) 할 수 있다아
③ 시료: aluminum quinoline
줄여서 alq3 이라 불리우며 분자량은 459.44g/mol이다.
2) 증착 과정
① 쿨러를 켠다.
③ 각각의 heating boat에 ALQ3를 담고 질량을 측정(測定) 한 뒤 chamber내에 고정시킨다.)
1) 기판 준비
① ultrasonic에 기판을 10분간 돌리고 20분간 150℃로 Dry Oven에 말린다.
② R.P.Leak 밸브 및 3way 벨브, Air Leak, Main 밸브가 잠겼는지 확인한다.
Ⅱ 實驗 理論
① 압력 단위 환산
1atm 〓 101325Pa 〓 1.01325bar 〓 760mmHg(torr) 〓 14.696 psi
② 증착속도(/s)
deposition tickness
monitor device
옹스트롬 [angstrom] 으로, 빛의 파장, 원자 사이의 거리를 재는 데 사용하는 길이의 단위이며, 1Å 〓 0.0000000001m 〓 110^-10 m 를 나타낸다.
④ Pirani gauge를 확인한 후 10-2Pa까지 압력이 떨어지면 Roug…(투비컨티뉴드 )
실험과제/화학
다.
Ⅲ 實驗 과정
시료 및 장치 준비 과정(모든 세척과정에서는 반드시 일회용 비닐장갑을 낀다.
Ⅱ 實驗 理論
① 압력 단위 환산
1atm 〓 101325Pa 〓 1.01325bar 〓 760mmHg(torr) 〓 14.696 psi
② 증착속도(/s)
deposition tickness
monitor device
옹스트롬 [angstrom] 으로, 빛의 파장, 원자 사이의 거리를 재는 데 사용하는 길이의 단위이며, 1Å 〓 0.0000000001m 〓 110^-10 m 를 나타낸다.
